l 천안에 반도체 소재 클러스터 조성··· 48% 수준인 반도체 소재 국산화율 제고 기여 노력

SKC(대표이사 이완재)가 반도체 노광공정 핵심소재로 쓰이는 블랭크 마스크 하이엔드급 제품의 국산화에 나섰다. 블랭크 마스크는 반도체 웨이퍼에 전자회로 패턴을 새길 때 쓰이는 핵심소재로, 이중 하이엔드급 블랭크 마스크는 수입에 의존해왔다.

SKC는 최근 충남 천안 하이엔드급 블랭크 마스크 공장에서 고객사 인증용 시제품 생산을 본격화했다. 약 430억원을 투자해 지난해 4월 공장 건설에 착수한 SKC는 지난해 12월 완공하고 양산 준비를 해왔다. 고객사 인증을 거쳐 이르면 올해 상업화에 나서는 것이 목표다.

공장 위치는 SKC 하이테크앤마케팅 천안공장 내 여유 부지로 잡았다. SKC는 이곳을, 반도체 소재를 생산하는 SKC 반도체 소재 클러스터로 조성하기로 했다. SKC는 천안 클러스터를 중심으로 50% 가량인 반도체 소재 국산화율을 높이는 데 기여해나갈 계획이다.

블랭크 마스크는 반도체 웨이퍼에 회로를 새길 때 사용하는 포토 마스크의 원재료다. 쿼츠 위에 금속막과 감광막을 도포해 만든다. 여기에 회로 패턴을 형상화하면 포토 마스크가 된다. 필름으로 치면 촬영 전 필름이 블랭크 마스크, 촬영 후 필름이 포토 마스크다. 포토마스크를 반도체 웨이퍼 위에 놓고 빛을 쏘면 빛이 통과한 부분에 화학반응이 일어나 회로가 된다.

블랭크 마스크 시장 규모는 매년 커지고 있다. 반도체 제조사가 적극적으로 증설에 나서면서 수요가 늘고 있고, 공정이 미세화되면서 공정별 사용량이 증가했기 때문이다. 자체 조사에 따르면 2018년 8000억원 수준이었던 세계 시장 규모는 매년 7%씩 성장해 2025년 1조3000억원 수준으로 성장할 전망이다.

이중 95% 가량을 일본의 글로벌 업체 2개사가 차지하고 있다. 특히 하이엔드급 시장은 99% 이상 차지하는 것으로 알려져 있다. 진입장벽이 높은 편이기 때문이다. 우리나라도 반도체 제조에 필요한 하이엔드급 블랭크 마스크 대부분을 수입에 의존하고 있다.

SKC는 그동안 쌓아온 기술 노하우를 바탕으로 사업에 진출했다. 블랭크 마스크는 금속막과 감광막을 나노미터 단위의 얇은 두께로 쿼츠에 도포해야 한다. 하이엔드급은 더 얇고 여러 번 균일하게 도포해야 한다. SKC는 여기에 필요한 진공증착(sputtering) 기술과 경험을 갖고 있고, 초청정 무진 관리 경험이 있다.

[충남 천안 SKC 하이테크앤마케팅 천안공장에 건설한 SKC 블랭크 마스크 공장 모습. SKC는 이곳을 반도체 소재 클러스터로 조성할 계획이다. ]

[SKC 구성원이 반도체 노광공정 핵심소재인 블랭크 마스크의 시제품을 검사하고 있다. ]