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지난 SKC 상설전시관 모빌리티존 소개에 이어, 반도체존 소개를 이어갑니다. SKC의 3대 비즈니스 모델 혁신축 중 하나인 반도체 소재/부품 사업. SKC의 기술력을 뽐낼 수 있는 분야 중 하나인데요. 여기서 잠깐, SKC의 반도체 사업을 한 단어로 표현한다면 어떤 게 떠오르시나요? 다양한 답이 있겠지만 그 중 하나는 바로 “국산화”입니다.

반도체 소재부품 산업 대표주자 SKC솔믹스는 그동안 대부분 수입에 의존하던 CMP 패드의 국내 생산을 시작했고, 블랭크마스크 양산도 추진하고 있습니다. 반도체 웨이퍼 홀더인 SiC Boat의 국내 유일 생산자이기도 합니다. 이 모든 제품을 ‘실물’로 볼 수 있는 곳, 바로 SKC 상설전시관의 반도체존입니다.

(위) 전시관 내 반도체존 위치 (아래) 반도체존에 전시된 제품 실물 3종

반도체존은 전시관 가운데에 자리잡고 있습니다. 왼쪽부터 차례로 제조 공정을 보여주는 블랭크 마스크, 20인치 및 30인치의 CMP 패드, 그리고 실물의 1/4 크기로 축소한 SiC Boat입니다. 

CMP 패드 제품 정보가 인식된 슬라이드 스크린

제품 설명은 슬라이드 스크린을 통해 확인합니다. 슬라이드 스크린은 관람객의 입체적 전시 체험을 돕는 터치 패널입니다. 스크린을 밀어 궁금한 제품 앞에 위치시키면, 제품 설명이 자동으로 화면에 나타납니다. 

SKC 블랭크 마스크 제품 소개 및 적용 사례

전시 제품들을 하나씩 소개해 드리겠습니다. 블랭크 마스크는 반도체 노광 공정 핵심 소재인 포토마스크의 원재료입니다. 지금까지 대부분을 수입에 의존해왔으나 SKC솔믹스가 하이엔드급 블랭크 마스크를 국산화하는 데 성공했습니다.

노광 공정은 빛으로 반도체 웨이퍼에 회로를 새기는 과정입니다. 회로가 새겨진 제품은 포토 마스크이고, 회로가 새겨지기 전 비어 있는 제품이 바로 블랭크 마스크입니다. 화면을 터치하면 노광 공정 원리와 SKC 블랭크 마스크만의 차별화된 고해상도 특성을 확인할 수 있습니다.

SKC솔믹스 CMP 패드 제품 설명 및 적용 사례

CMP 패드는 웨이퍼 연마 공정에서 사용하는 폴리우레탄 제품입니다. 반도체 웨이퍼의 적층 효율화를 위해서는 웨이퍼 표면의 평탄화가 중요한데요. CMP 패드는 오른쪽 그림처럼 CMP 공정에서 연마제(슬러리)와 함께 사용되어, 웨이퍼 표면을 매끄럽게 다듬는 역할을 합니다. 특히 SKC솔믹스는 CMP 패드 표면 기공을 자유자재로 가공할 수 있는 기술력을 갖고 있습니다. 또한 고객사가 원하는 크기로 모든 공정용 CMP 패드를 만들 수 있는 기업은 SKC솔믹스를 포함해 단 두 곳뿐입니다.

SKC솔믹스 SiC Boat 적용 사례 및 소모성 파츠류

마지막은 SiC Boat입니다. 웨이퍼 산화막을 형성하는 반도체 확산 공정에서 사용됩니다. 왼쪽 그림처럼 웨이퍼를 대량으로 적재 가능한 구조물입니다. 이 제품은 SKC솔믹스가 국내에서 유일하게 생산하고 있습니다. SKC솔믹스는 SiC Boat 외에도 반도체 전공정에 사용되는 소모성 부품을 여러 소재로 생산하고 있습니다. 다양한 제품과 기술력을 기반으로 SKC솔믹스는 파인세라믹 산업의 선두주자로 거듭나고 있습니다.

다음 편에 소개해드릴 SKC 상설전시관 친환경존은 가장 많은 제품이 전시된 곳이기도 합니다. 어떤 제품들이 기다리고 있을지 많은 기대 부탁드립니다.